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Semiconductor Materials
【ウェーハ移載表】

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设备概况：
●用途：可以实现石英舟和硅片盒之间的硅片双向转移。
●６inch 和８inch 切换通过可变换夹具完成
●追求低成本
特徴 ：
●必要的功能都具有，操作简单。
●可以自动识别石英舟和片盒，片盒取出/片盒放入
／石英舟取出／石英舟放置各動作自動判断
●通过压力传感器来防止误操作，避免硅片产生损伤。
●硅片接触的部分，可以通过单点接触方式取下
●不需要气源

 

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