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6/8/12インチシリコンウェーハエッジ研磨機

この装置は、6/8インチ(150mm / 200mm)のシリコンウェーハの周縁を研磨布でプレスすることにより、シリコンウェーハの縁(ノッチVNまたは基準面OF)を超精密研磨するための装置です。 (注:V-NOTCHはVNと省略され、ギャップを意味します。FLATはOFと省略され、参照面を意味します)

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