2019年5月22日-23日,在我司的陪同下,协鑫GCL一行技术人员抵达晶圆抛光机制造商BBS工厂,进行了为期两天的晶圆抛光机预验收工作。
预验收期间,吉永和协鑫以及厂家人员一同进入车间,对设备的各项配置及关键部位进行了逐一确认,厂家也针对设备特性进行了详尽的介绍,对于协鑫的提问,厂家也是耐心的解释,直到协鑫所有验收人员满意为止。
预验收样品操作阶段,厂家用协鑫样品进行小批量加工,验证晶圆抛光机的抛光效果,实验完成后在显微镜下观察A面/B面/Top面,加工效果堪称完美。针对预验收加工测试结果,吉永和协鑫以及厂家BBS签署了三方预验收备忘录,确认晶圆抛光机将于7月内发货,至此,协鑫GCL晶圆抛光机日本预验收取得圆满成功!
边缘抛光是大尺寸硅衬底加工中至关重要的一步,目前国际晶圆大厂如日本信越半导体(Shin-Etsu)、日本胜高科技(Sumco),台湾环球晶圆(Global Wafer)、德国(Silitronic)、韩国(LG Siltron)等均在边缘抛光环节中采用BBS的晶圆抛光设备。
吉永商事株式会社作为BBS在中国区的一级代理,一直致力于为国内半导体客户提供优质的日本半导体设备及技术服务,秉持立足日本服务中国,为中日半导体产业的发展做贡献的公司理念,售前做好充分沟通,售后服务到位一直是我司不变的追求。
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