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企业动态
热烈祝贺我司中标国内某IGBT项目
发布日期:10/10/2015 :01:30    点击数:780

 

近日,吉永商事再次传来捷报:凭借扎实的技术实力,吉永商事在国内某IGBT项目招标中,成功中标贴膜机、揭膜机、划片机、清洗机四套设备。其中贴膜机和揭膜机制造商为我司日本合作伙伴Nitto(日东电工),划片机和清洗机制造商为我司以色列合作伙伴ADT,中标设备用途简介如下:

 

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贴膜机用于将保护胶带粘贴在晶圆表面上,在背面减薄及背面湿法刻蚀时对晶圆正面进行保护。

揭膜机用于减薄及刻蚀工艺后晶圆表面保护膜的揭除。

划片机用于半导体工艺过程中晶圆划片,将6-8英寸晶圆切割成独立的芯片。

 

清洗机用于晶圆划片后芯片表面残留物的清洗,避免表面沾污、微粒影响后继封装工艺。

   

    除了产品的优良性能之外,吉永商事还为客户解决许多工艺上的问题,这也是客户选择吉永商事中标的多方面原因之一。

 

    比如在IGBT晶圆划片时,因为晶圆背面有金属层,而且晶圆厚度为750um,如果用传统的切割方法,会造成很大的崩边。而因为采用了我们的技术方案,配合ADT自选刀具,成功的将正崩降低到10um以下,背崩则小于3um,从而解决了客户芯片因为崩边为导致的漏电隐患。(而竞争对手日本D公司的demo数据为正崩15um,背崩20um;)

 

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 正面                                                        反面

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