上海瞻驰光电科技有限公司

   2016年5月31日，西安中车永济的贴膜+撕膜设备（Taping+Detaping）进入安装调试阶段。贴膜设备用于将保护胶带粘贴在6/8晶圆表面上，在背面减薄及背面湿法刻蚀时对晶圆正面进行保护，撕膜设备用于减薄及刻蚀工艺后100μm超薄晶圆表面保护膜的揭除。

    作为IGBT背面制程的关键工艺设备，该套设备具有精度高，产能高，操作简单方便特点，另外设备具有限位传感器，对操作人员的安全保护细节做了很贴心的设计。

    NITTO作为全球领先的研磨/切割胶带/贴膜设备供应商，与吉永商事株式会社的合作由来已久，在IGBT制程方面，我们兼可提供超薄片临时键合（Temporary bonding），超薄晶圆研削机等背面减薄工艺整体解决方案。（编辑：Jeff.lee）