上海瞻驰光电科技有限公司

精抛布（7355-000FE）

物性说明：

品名 (ARTICLE NO)： 7355-000FE

用途 (FOR USES) ： CMP

物理性质各项参数 ( PHYSICAL PROPERTIES )

(物理性质数据只是测定数值，不作为规格数值。)

(The above is not standard, but measured figures.)

产品特点:

v  材料的亲水性:

   采用特殊冒泡聚氨基甲酸酯,对于抛光液的濡湿性(亲水性）出众.

v  基层纤维厚度的均一性:

   抛光压力及抛光液的流动量均一

v  起泡的泡囊长度均一性:

   抛光压力及抛光液的流动量均一以及抛光效率的均一性高

v  起泡的泡囊形状均一性:

   抛光液的含量均一,因此抛光效率均一性高

v  起泡的泡囊的开口口径均一性:

   抛光效率均一性高

v  基层材料采用微细纤维,厚度均一性及压力均一性都优越，抛光效率高

v  绒毛长度更长,良好的亲水性和抛光液流动率,通过减薄工艺,更好保持抛光后的面型精度

v  兼容性好,蓝宝石,水晶,晶片的精抛光用