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半导体材料制程 > 加工检测设备
6/8/12英寸硅片晶圆边缘抛光机

本设备是对6/8英寸(150mm/200mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘(缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注:V-NOTCH缩写为VN即缺口;FLAT缩写为OF即参考面)

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