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抛光设备 > 边缘抛光

【BBS】晶圆边缘抛光机

本设备是对6/8英寸(150mm/200mm)硅片外周边缘用抛光布加压的方式来进行硅片边缘（缺口VN或者参考面OF)超精密抛光的设备。(备注：V-NOTCH缩写为VN即缺口；FLAT缩写为OF即参考面)