上海瞻驰光电科技有限公司

具有前开式晶圆盒

开放式晶圆匣

具有剥离触发器，因此具有稳定的剥离效果

通过对剥离棒的准确控制可实现较低应力的剥离

可通过触摸面板和配方功能实现简易操作

日志文件功能标准设备

符合　CE　标志/SEMI　S2/S8规范要求

可添设晶圆映射扫描仪

符合　SECS/GEM　标准

可用晶圆尺寸：300　mm／200　mm

可用晶圆厚度：100　um　或更厚

吞吐量：60晶圆/小时