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M286N：可用于 8"和 6"框架M265N：可用于 6"框架添设静电消除器（可选）可用于面板配设（可选）可用框架尺寸：M286N：8/6英寸、M265N：6英寸可用晶圆尺寸：M286N：8/6/5/4英寸、M265N：6/5/4/3英寸可用晶圆厚度：200 um（接触工作台）、250 um（非接触工作台）吞吐量：应用 30秒/晶圆
M286N：可用于 8"和 6"框架
M265N：可用于 6"框架
添设静电消除器（可选）
可用于面板配设（可选）
可用框架尺寸：M286N：8/6英寸、M265N：6英寸
可用晶圆尺寸：M286N：8/6/5/4英寸、M265N：6/5/4/3英寸
可用晶圆厚度：200 um（接触工作台）、250 um（非接触工作台）
吞吐量：应用 30秒/晶圆
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