上海瞻驰光电科技有限公司

金属剥离工艺（metal lift-off technology）是指基片经过涂覆光致抗蚀剂、曝光、显影后，以具有一定图形的光致抗蚀剂膜为掩模，带胶蒸发所需的金属，然后在去除光致抗蚀剂的同时，把胶膜上的金属一起剥离干净，在基片上只剩下原刻出图形的金属。

ASAP机台可从上料片盒中自动抓取晶圆，执行金属剥离、清洗和干燥工艺后，将处理完成后的晶圆放回下料片盒。